Книга Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы.

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Цена: 195 руб.

дополнительная информация о книге Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы.:
автор книги: Киреев В., Столяров А.
издательство: Техносфера
год издания: 2006
страниц: 191
ISBN: 5-94836-039-3

Посмотреть подробное описание книги Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. или оформить заказ и купить книгу с доставкой

книжный магазин
оформление заказа
оплата и доставка
новые книги
КАТАЛОГ:
Деловая литература
Компьютеры и Internet
Юридическая литература
Справочники, словари, энциклопедии
Дом. Быт. Досуг. Семья
Образование и наука
Искусство и культура
Художественная литература
Детская литература
Религия и эзотерика
Медицина и здоровье
Разное
Автомобиль
Предварительный заказ
Фотография
все книги

интернет-магазины:
учебники, пособия, учебная литература, книги купить дешево
книги по пчеловодству для пчеловодов
фирмы Волгограда
справочник города Тамбова и области
промышленность и производство в Тамбове и районе
Владимир: телефоны и адреса предприятий